Lénsa F-Theta umumna dianggo sasarengan sareng eunteung scanning galvanometer dina sistem ukiran laser, motong, sareng nyirian. Biasana distorsi F-Theta tina lénsa dijaga kirang ti 1% supados tiasa ngahasilkeun titik anu tepat dina widang datar dina bidang gambar.
Toleransi Diaméter: +0/-0.13mm
Toleransi Kandel: ±0.25mm
Toleransi Panjang Fokus: ±2%
Variasi Kandel Tepi (ETV): ≤3 busur min.
Bukaan Jelas: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kualitas Beungeut: 40-20 SD
Lapisan AR: R<0.2% per permukaan @10.6μ